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英國格拉斯哥大學(xué)等離子刻蝕系統(tǒng)選用PlasmaPro System100 ICP
2011-07-22
英國格拉斯哥大學(xué)詹姆斯•瓦特納米技術(shù)中心主任和半導(dǎo)體儀器Douglas Paul教授說，“多年來，我們與牛津儀器公司密切合作，將他們的刻蝕和沉積系統(tǒng)成功地用于我們的研究。我們最近發(fā)出了一份增補(bǔ)牛津儀器公司系統(tǒng)的訂單，因為我們對這些工具的靈活高效具有深刻印象。 我們多年來一直使用他們的工具，在我們要推出5nm以下特性尺寸技術(shù)時，將繼續(xù)使用這些工具來開發(fā)新的用于納米制造的刻蝕和沉積工藝。 而且，為了盡可能擴(kuò)大我們的應(yīng)用范圍并盡可能利用投資，設(shè)備的維護(hù)至關(guān)重要，而我們對于牛津儀器公司提供的一貫高品質(zhì)支持服務(wù)極為滿意”。PlasmaPro System100 ICP 適用于多種用途下的化合物半導(dǎo)體材料刻蝕，如光電子、毫米波&太赫茲技術(shù)、生物工程、生物技術(shù)、芯片實驗室技術(shù)、能量收集技術(shù)和太陽能光伏技術(shù)。英國格拉斯哥大學(xué)的詹姆斯•瓦特納米技術(shù)中心在其已安裝的牛津儀器公司刻蝕和沉積設(shè)備基礎(chǔ)上添加了一臺 PlasmaPro® System100 ICP 等離子刻蝕系統(tǒng)。
牛津儀器公司致力于通過科學(xué)技術(shù)實施負(fù)責(zé)任的研發(fā)，并深化對世界需求的理解，利用創(chuàng)新將科學(xué)智慧融入到世界級產(chǎn)品中來支持研究和工業(yè)發(fā)展。牛津儀器公司的銷售和市場部總監(jiān) Mark Vosloo評價說，“牛津儀器公司主要集中開發(fā)前沿研發(fā)設(shè)備, 而這份牛津儀器公司設(shè)備系統(tǒng)增補(bǔ)訂單強(qiáng)化了我們?yōu)楦窭垢绱髮W(xué)提供研究設(shè)備選擇的承諾。”
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