捷歐路JEOL JEM-3200FS 場發射透射電子顯微鏡
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簡介：捷歐路JEOL JEM-3200FS 場發射透射電子顯微鏡配備了最高加速電壓為300kV的場發射電子槍（FEG）和鏡筒內置式型能量過濾器，能為廣泛的研究領域提供各種全新的解決方案。捷歐路JEOL JEM-3200FS 場發射透射電子顯微鏡鏡...
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- 產品介紹
捷歐路JEOL JEM-3200FS 場發射透射電子顯微鏡配備了最高加速電壓為300kV的場發射電子槍（FEG）和鏡筒內置式Ω型能量過濾器，能為廣泛的研究領域提供各種全新的解決方案。捷歐路JEOL JEM-3200FS 場發射透射電子顯微鏡鏡筒內置式Ω型能量過濾器內置于成像透鏡系統，能容易地獲得能量過濾像和能量損失譜，同時還能獲得與傳統電子顯微鏡同等的放大倍率范圍。此外、Ω型過濾器的電子光學系統在設計上最大程度地減少了圖像畸變，出廠前還將剩余一點的畸變做了最后的修正。JEM-3200FS還采用了高靈敏度的相機系統及圖像處理系統（選配件），可以構建元素面分布系統及能量損失譜系統。
捷歐路JEOL JEM-3200FS 場發射透射電子顯微鏡有電子槍、電子光學系統、測角臺、抽真空系統等電子顯微鏡基本功能的系統化，實現了高穩定、高性能的控制系統。圖像畫面和用戶界面采用Windows ®*1，可以進行編程操作和附件的集中控制。捷歐路JEOL JEM-3200FS 場發射透射電子顯微鏡的系統化的新型測角臺內置壓電陶瓷驅動機構，使高倍率下的樣品移動更加精確。
| 物鏡極靴*1 | 超高分辨UHR | 高分辨率HR | 高傾斜HT | 高襯度HC |
| 分辨率 | ||||
|
點分辨率 晶格分辨率 |
0.17nm 0.1nm |
0.19nm 0.1nm |
0.21nm 0.1nm |
0.26nm 0.14nm |
| 能量分辨率 | 0.9 eV（零損失FWHM） | |||
| 加速電壓 | 300kV，200kV,100kV*2 | |||
|
最小步長 能量位移 |
100V 最大3,000V (以0.2V為步長) |
|||
| 電子槍 | ||||
| 發射體 | ZrO/W(100) 肖特基式 | |||
| 亮度 | ≧7×108 A/cm2 ・ sr | |||
| 真空度 | 3×10-8Pa | |||
| 探針電流 | 探針直徑為1nm時，電流在0.5nA以上 | |||
| 穩定度 | ||||
| 加速電壓 | 2×10-6/min | |||
| 物鏡電流 | 1×10-6/min | |||
| 過濾器透鏡電流 | 1×10-6/min | |||
| 物鏡 | ||||
| 焦距 | 2.7 mm | 3.0 mm | 3.5 mm | 3.9 mm |
| 球差系數 | 0.6 mm | 1.1 mm | 1.4 mm | 3.2 mm |
| 色差系數 | 1.5 mm | 1.8 mm | 2.2 mm | 3.0 mm |
| 最小焦距步長 | 1.0 nm | 1.4 nm | 1.5 nm | 4.1 nm |
| 束斑尺寸 | ||||
| TEM 模式 | 2 ～ 5 nmφ | 2 ～ 5 nmφ | 7 ～ 30 nmφ | |
| EDS 模式 | 0.4 ～ 1.6 nmφ | 0.5 ～ 2.4 nmφ | 4 ～ 20 nmφ | |
| NBD 模式 | 0.4 ～ 1.6 nmφ | 0.5 ～ 2.4 nmφ | - | |
| CBD 模式 | 0.4 ～ 1.6 nmφ | 0.5 ～ 2.4 nmφ | - | |
| 電子束衍射 | ||||
| 衍射角(2α) | 1.5 t～ 20 mrad | - | ||
| 取出角 | ±10 ° | - | ||
| 倍率 | ||||
| MAG 模式 | ×2,500 ～ 1,500,000 | ×2,000 ～ 1,200,000 | ×1,500 ～ 1,200,000 | |
| LOW MAG 模式 | ×100 ～ 3,000 | |||
| SA MAG 模式 | ×8,000 ～ 600,000 | ×6,000 ～ 500,000 | ×5,000 ～ 500,000 | |
| 視野 |
10eV時狹縫寬度60mm(底片上) 2eV時狹縫寬度25mm(底片上) |
|||
| 相機長度 | ||||
| 選區電子衍射 | 200 ～ 2,000 mm | 250 ～ 2,500 mm | 400 ～ 3,000 mm | |
| EELS 散射 | ||||
|
能量選擇 在能量選擇狹縫上 |
0.85 μm/eV , 300 kV | |||
| 底片上 | 100 ～ 220 μm/eV , 300kV | |||
| 樣品室 | ||||
| 樣品移動范圍 (XY/Z) | 2mm/0.2mm | 2mm/0.4mm | 2mm/0.4mm | 2mm/0.4mm |
| 樣品傾斜角 (X/Y) | ±25°/±25°*3 | ±35°/±30°*3 | ±42°/±30°*3 | ±38°/±30°*3 |
| EDS*4 | ||||
| 固體角 | 0.13 sr | 0.09 sr | ||
| 取出角 | 25° | 20° | ||
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