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SE401 在線式激光橢偏儀

SE401 在線式激光橢偏儀

名稱:涂鍍層測(cè)厚儀

品牌:

型號(hào):

簡(jiǎn)介:SE401 在線式激光橢偏儀簡(jiǎn)單信息: 在線式激光橢偏儀,可以在線測(cè)量薄膜厚度。 ,SE 401是出色的單波長(zhǎng)橢偏儀, 使用旋轉(zhuǎn)分析器,對(duì)測(cè)量橢偏角度有高重復(fù)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性,快速測(cè)量數(shù)據(jù),基于windows操作系統(tǒng)的軟件使測(cè)量精確、快速、簡(jiǎn)...

  • 產(chǎn)品介紹

SE401 在線式激光橢偏儀簡(jiǎn)單信息: 在線式激光橢偏儀,可以在線測(cè)量薄膜厚度。 ,SE 401是出色的單波長(zhǎng)橢偏儀, 使用旋轉(zhuǎn)分析器,對(duì)測(cè)量橢偏角度有高重復(fù)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性,快速測(cè)量數(shù)據(jù),基于windows操作系統(tǒng)的軟件使測(cè)量精確、快速、簡(jiǎn)單。SE 401過(guò)程控制橢偏儀適用于監(jiān)控動(dòng)態(tài)過(guò)程,如不同環(huán)境下單層膜的生長(zhǎng)或蝕刻過(guò)程。
激光橢偏儀
SE401 在線式激光橢偏儀規(guī)格
  ·激光波長(zhǎng) 632.8 nm
  ·測(cè)量時(shí)間最小80 ms(測(cè)量Ψ,Δ數(shù)據(jù))。
  ·接口配置,用于將橢偏儀安裝在反應(yīng)腔上。
  ·激光聚焦高度調(diào)節(jié)
  ·應(yīng)力釋放窗口
  ·基于windows系統(tǒng)的操作分析軟件,在線監(jiān)控橢偏測(cè)量并計(jì)算單層膜的膜厚、折射率。
選項(xiàng)
  ·高真空應(yīng)力釋放窗口
  ·使橢偏儀正面向上的附加置換單元
  ·雙波長(zhǎng)激光 (可選405 nm或1550 nm)
  ·角度計(jì)可調(diào)節(jié)入射角,步進(jìn)值5度。載物臺(tái)直徑150mm
  ·TIMECALC 軟件,動(dòng)態(tài)橢偏測(cè)量模擬和分析軟件。 

 廠商名稱: SENTHCH
商品名稱: 在線式激光橢偏儀
商品型號(hào): SE401

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